| 标题 | 说明 |
| 产品名称 | 准分子激光气 |
| 其他名称 | 氟化氩激光气体（193nm）；氟化氪激光气体（248nm）；氯化氙激光气体（308nm） |
| 分子式 | |
| UN No. : | UN1956 |
| CAS No. : | |
| 产品纯度 : | 99.999% |
| 包装规格 : | 钢瓶容积： 11L，16L，20L，49L，50L |
| 产品说明 : | 产品类型： ArF，KrF，XeCl，5%F2/He, Kr/Ne,F2/Kr/Ne,Ar/Ne,F2/Ar/Ne |
| 产品应用安全 : |
注意事项
准分子激光气体为高压充装气体，使用时应经减压降压后方可使用。包装的气瓶上均有使用的年限，凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验，方能继续使用。每瓶气体在使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.5MPa，最小不得低于0.25MPa余压，应将瓶阀关闭，以保证气体质量和使用安全。瓶装气体产品在运输储存、使用时都应分类堆放，严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起，不准靠近明火和热源，应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。